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硅锭的开方方法
专利
专利摘要: 本发明提供了一种硅锭的开方方法,包括在晶托具有缝隙的一面上铺设隔离膜,隔离膜用于将晶托与待开方的硅锭隔离;在隔离膜上喷射发泡胶,发泡胶在发泡过程中填充于缝隙内;将硅锭置于晶托上,使发泡胶粘接硅锭;将承托有硅锭的晶托置于开方机的切割室内,对硅锭进行开方。本发明所提供的硅锭的开方方法中,在硅锭将要发生位移时,填充于缝隙中硬化的发泡胶能够通过与缝隙侧壁间的相对作用力保持硅锭不发生位移,达到固定硅锭的作用。由于硅锭与晶托之间通过隔离膜隔离,因此在硅锭开方完成后,操作人员能够十分容易的将硅块从晶托上取下来,从而大大降低开方后将硅块从晶托上取下的过程中的操作难度,提高生产效率。 -
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胡娟
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